- ионное легирование при низкой энергии ионов
- adj
radio. implantation ionique à faible énergie
Dictionnaire russe-français universel. 2013.
Dictionnaire russe-français universel. 2013.
ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ — (ионное внедрение, ионное легирование) введение примесных атомов в твёрдое тело бомбардировкой его поверхности ускореннымиионами. При ионной бомбардировке мишени наряду с процессами распыления поверхности, ионно ионной эмиссии, образования… … Физическая энциклопедия